Frederick Guthrie inventó el diodo en 1873, pero no lo puso en práctica. Thomas Edison lo desarrolló de forma independiente en 1880, luego lo utilizó en su patente de 1883 de la bombilla incandescente. John Ambrose Fleming recibió la primera patente del diodo en 1904.
Todos estos primeros diodos eran diodos de tubo de vacío. El diodo de tubo de vacío fue la forma más común hasta la década de 1950, cuando los diodos semiconductores los reemplazaron. Los diodos semiconductores se inventaron poco después de los diodos de tubos de vacío, pero no fueron lo suficientemente estables para su uso práctico hasta mediados del siglo XX. Karl Ferdinand Braun inventó el primer diodo semiconductor en 1874 y lo patentó en 1899.
